浅谈微纳结构功能表面的超精密加工技术

针对多孔结构作用表层具备相应的拓扑结构样子，构造规格一般为10~100μm，面形精密度低于0.1μm，其表层多孔结构具备纹路构造标准、深奥宽比、几何图形特征确认等特性，如凹形槽列阵、微双光透镜列阵、埃及金字塔列阵构造等，这种表层多孔结构促使元器件具备一些指定的作用，可以传送资料的物理学、有机化学特性等，如黏附性、摩擦系数、润湿性、抗磨损性，或是具有相应的光电特性等。例如在航空公司、航空航天四轴飞行器宏观经济表层加工出微结构构造产生多功能性表层，不但可以减少四轴飞行器的空气阻力、摩阻，减少磨擦，还能够防止结冻层产生，提升流体力学和热学作用，进而做到增长速度、增程、减噪等目地，与此同时表层特殊的多孔结构特点还能发挥隐形作用，提高突防工作能力。

在商用层面最经典的事例是游泳运动员的泳装表层提高了一些多孔结构，别名鲨鱼皮泳衣，結果使选手的战绩拥有大幅的提升，使游泳世锦赛迫不得已明令禁止应用这类新科技的泳装。除此之外多孔结构作用表层在光学元件、显示设备、聚光镜光伏行业、交通标志标牌、照明灯具等行业被广泛运用，如LCD 显示屏的背光模组的各种各样电子光学脉冲阻尼器，背光模组安全事故—背光源、导光板、增光膜等，聚光镜太阳能光伏CPV 系统软件的光学透镜，道路标示用多孔结构电子光学脉冲阻尼器、新一代LED 一般照明高效率led光通量构造等。

在未来零部件设计方案与生产制造可能提升一项作用表层构造的制定与生产制造，根据在零件表层设计方案和加工不一样样式的多孔结构，进而提升零部件结构力学、电子光学、电磁场理论、入学等作用，这将是微结构生产的主要主要用途，2006年创立的世界纳米技术生产制造学好经医生探讨并认可，纳米技术制作中的关键技术将从现阶段以MEMS技术性逐渐转移到超精密加工技术性。

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