实现超精密加工的基本条件

完成超精密加工基本上标准：

为了更好地能完成超精密加工并得到预估的加工实际效果，务必具有以下基本上标准：

被加工产品工件的材料要密实度；各向的同一性好些（最好是为单晶体）；表面强度和弹性模具要匀速运动一致；可加工性好些；原材料的有机化学有效成分与机械设备机械性能对指标值的误差不宜超出0.1%。

采用的超精密加工加工工艺方式要与被加工原材料相符合。例如，稀有金属原材料（如铜、铝合金）宜用点射金刚石刀片开展铣削或切削加工；玄色金属材质（如钢等）则宜选切削与研、抛等加工工艺，不然无法得到预估的加工实际效果等。

加工自然环境要严苛控温、减振和净化处理。恒温室（第一隔开区）中的溫度起伏不可超过±0.1°C；加工区（第二隔开区）中则不可超出±0.01°C；自然环境的空气湿度要维持在40%±10%之内；大气压强（如用激光器测量仪时）应维持1MPa±0.1%；数控车床路基的减振系统软件共振频率<2Hz；加工区的净化处理度应是每立方英寸中超过0.1μm的颗粒成分应公以于10颗。

具备能完成纳米（1nm ~10nm）增加量走刀的数控车床和分辨率好于0.1nm的测量机器设备，如干涉仪，扫描仪隧道施工光学显微镜和透射电镜等。

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